指示光栅与标尺光栅叠加形成明暗条纹,通过光电转换获取位移信息。
LED 光源经透镜准直,照射光栅,由光敏元件接收,产生正弦/余弦信号。
通过电子细分将原始信号细分至纳米级,实现高精度位置检测。
支持 A/B/Z 差分信号、SSI、BiSS 等协议,兼容主流控制器。
数控机床、磨床、测量机的位置反馈,保障加工精度。
光刻机、晶圆检测台,提供纳米级运动控制。
线性模组、贴片机、3D 打印,高速动态定位。